JSR Corporation, wereldwijd toonaangevend leverancier van materialen, en imec, het Leuvense nano-elektronica onderzoekscentrum, hebben vandaag in de Belgische Ambassade in Tokyo, in aanwezigheid van premier Charles Michel en vicepremier en minister van economie Kris Peeters, een intentieverklaring ondertekend om samen oplossingen te ontwikkelen voor de productie en kwaliteitscontrole van materialen voor de nieuwste generatie lithografie, nl. EUV- (Extreme Ultraviolet) lithografie. De samenwerking zal geformaliseerd worden in een joint venture met imec als minderheidsaandeelhouder.
Om steeds krachtiger chips te ontwikkelen is de chipindustrie op zoek naar manieren om de bouwstenen van de chips, de transistoren, te verkleinen waardoor er meer transistoren op eenzelfde chip kunnen. EUV- lithografie wordt beschouwd als een veelbelovende lithografietechniek om tot nog kleinere transistoren te komen.
Met de vandaag aangekondigde samenwerking willen imec en JSR hun expertise en sterktes samenbrengen voor de productie van fotoresists die nodig zijn voor EUV-lithografie. JSR zal zijn productietechnologie ter beschikking stellen van de joint venture, en zal in zijn dochterbedrijf in Leuven, JSR Micro NV, investeren in de uitbreiding van zijn productielijn en analyse-apparatuur. Imec zal zijn expertise en diensten voor kwaliteitscontrole van materialen ter beschikking stellen van de joint venture. De joint venture zal niet alleen EUV fotoresists van JSR produceren maar biedt ook aan andere leveranciers de mogelijkheid om EUV fotoresists te produceren op basis van hun eigen materialen met de apparatuur en expertise van JSR en imec.
“JSR is al lange tijd een strategische partner van imec, en ik ben dan ook zeer opgetogen met deze nauwere samenwerking,” zei Luc Van den hove, algemeen directeur van imec. “De samenwerking versterkt onze supplier hub, een neutraal open innovatie R&D-platform dat materiaal- en toestelleveranciers nauwer en in een vroeger stadium wil betrekken bij de ontwikkeling van de volgende generatie chipprocessen. De nauwere samenwerking met JSR werd mogelijk gemaakt door de nabijheid van JSR’s productielijn en imec’s ultramoderne onderzoeksinfrastructuur in Leuven. Deze joint venture is een belangrijke verankering van unieke expertise in Vlaanderen. Voor imec is de samenwerking ook belangrijk omdat ze onze partners toegang zal verschaffen tot best-in-class materialen voor het ontwikkelen van nieuwe generaties chiptechnologieën.”
Nobu Koshiba, President bij JSR Corporation: “JSR is al sinds zijn oprichting een belangrijke leverancier van geavanceerde materialen, en we zijn er steeds in geslaagd om de halfgeleiderindustrie te ondersteunen in de ontwikkeling van nieuwe chiptechnologieën. Omdat we ervan overtuigd zijn dat EUV-lithografie de sleutel is naar nieuwe generaties chiptechnologieën, willen we met onze geavanceerde materialen bijdragen tot het ontwikkelen van deze lithografietechnologie. Essentieel daarbij is het opzetten van een productie-infrastructuur en een kwaliteitscontrolesysteem voor EUV lithografie zonder defecten, en het verbeteren van de performantie van de EUV fotoresists. De uitbreiding van onze samenwerking met imec is gebaseerd op een langdurige vertrouwensrelatie. Het is een zeer boeiende uitdaging voor ons en ik heb een groot respect voor de moed en bezieling van imec.”
Dit persbericht kan gedownload worden via http://www2.imec.be/be_en/press/imec-news/jsr2015.html
Leave a Reply